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SiC碳化硅MOSFET的基本结构及SIC MOS的主要参数

SiC碳化硅MOS内部晶胞单元的结构,主要有二种:平面结构和沟槽结构。


平面SiC MOSFET的结构的特点是工艺简单,单元的一致性较好,雪崩能量比较高。但是,这种结构的中间,N区夹在两个P区域之间,当电流被限制在靠近P体区域的狭窄的N区中流过时,将产生JFET效应,从而增加通态电阻;同时,这种结构的寄生电容也较大。

沟槽SiC MOSFET的结构将栅极埋入基体中,形成垂直的沟道,由于要开沟槽,工艺变得复杂,单元的一致性、雪崩能量比平面结构差。但是,由于这种结构可以增加单元密度,没有JFET效应,沟道晶面实现最佳的沟道迁移率,导通电阻比平面结构要明显的降低;同时,寄生电容更小,开关速度快,开关损耗非常低,因此,新一代的结构都研究和采用这种结构。

碳化硅mosfet有哪些主要参数

碳化硅MOSFET相关的主要参数包括:

  1. 阈值电压(Vth)- 这是MOSFET开启的电压。随着Vth的增加,MOSFET的开关速度会变慢。
  2. 导通电阻(Rdson)- 这是MOSFET在线性区域内的电阻。它与MOSFET的尺寸和结构有关,Rdson越小,MOSFET的效率就越高。
  3. 最大漏电流(Idmax)- 这是MOSFET在最大允许温度下能承受的最大漏电流。
  4. 最大额定电压(Vdss)- 这是MOSFET能够承受的最大电压。
  5. 开关速度(switching speed)- 这是MOSFET的开关时间,即从关到开或从开到关的时间。它通常说是在负载电感和电容条件下的开关时间。

SiC碳化硅MOS替代传统MOSFET及IGBT的优点

碳化硅MOS优点:高频高效,高耐压,高可靠性。可以实现节能降耗,小体积,低重量,高功率密度。

相对应于传统MOSFET以及IGBT有以下优点:

01╱ 高工作频率 ╱

传统MOSFET工作频率在60KHZ左右,而碳化硅MOSFET在1MHZ

用途:高频工作,可以减小电源系统中电容以及电感或变压器的体积,降低电源成本,让电源实现小型化,美观化。从而实现电源的升级换代。

02╱ 低导通阻抗 ╱

碳化硅MOSFET单管最小内阻可以达到15毫欧,这对于传统的MOSFET看来是不可想象的。

用途:轻松达到能效要求,减少散热片使用,降低电源体积和重量,电源温度更低,可靠性更高。

03╱ 耐压高 ╱

碳化硅MOSFET目前量产的耐压可达3300V,一般MOSFET耐压900V,IGBT常见耐压1200V。

04╱ 耐高温 ╱

碳化硅MOSFET芯片结温可达300度,可靠性,稳定性大大高于传统MOSFET

综上所述:使用碳化硅MOSFET可以让电源实现高效率,小体积,在一些高温,高压环境,必用不可。

关于使用碳化硅MOSFET的问题:

01╱ 价格 ╱

目前价格稍高,在PD领域可以实现和氮化镓HEMT价格持平,但是随着客户用量的增加以及技术工艺的提高,价格已经越来越低。其中2020年一年内的价格降低40%,相信2021以后会有更优惠的价格给到大家。

02╱ 应用方面 ╱

芯片脚位和传统MOSFET完全一样,驱动电压略有不同,开启电压最好18-20V,关断电压:-3V,小功率不需要负压关断。

一、 碳化硅mos对比硅mos的11大优势

01、SiC器件的结构和特征

Si材料中,越是高耐压器件其单位面积的导通电阻就越大(通常以耐压值的大概2-2.5次方的比例增加),因此600V以上的电压中主要采用IGBT(绝缘栅极双极型晶体管)。IGBT通过电导率调制,向漂移层内注入作为少数载流子的空穴,因此导通电阻比MOSFET还要小,但是同时由于少数载流子的积聚,在关断时会产生尾电流,从而造成极大的开关损耗。

SiC器件漂移层的阻抗比Si器件低,不需要进行电导率调制就能够以高频器件结构的MOSFET实现高耐压和低阻抗。而且MOSFET原理上不产生尾电流,所以用SiC MOSFET替代IGBT时,能够明显地减少开关损耗,并且实现散热部件的小型化。另外,SiC MOSFET能够在IGBT不能工作的高频条件下驱动,从而也可以实现被动器件的小型化。与600V~1200V的Si MOSFET相比,SiC MOSFET的优势在于芯片面积小(可以实现小型封装),而且体二极管的恢复损耗非常小。

2、SiC Mosfet的导通电阻

SiC 的绝缘击穿场强是Si 的10倍,所以能够以低阻抗、薄厚度的漂移层实现高耐压。因此,在相同的耐压值的情况下,SiC 可以得到标准化导通电阻(单位面积导通电阻)更低的器件。例如900V时,SiC‐MOSFET 的芯片尺寸只需要Si‐MOSFET 的35分之1、SJ‐MOSFET 的10分之1,就可以实现相同的导通电阻。不仅能够以小封装实现低导通电阻,而且能够使门极电荷量Qg、结电容也变小。目前SiC 器件能够以很低的导通电阻轻松实现1700V以上的耐压。因此,没有必要再采用IGBT这种双极型器件结构(导通电阻变低,则开关速度变慢) ,就可以实现低导通电阻、高耐压、快速开关等各优点兼备的器件。

33Vd-Id特性

SiC‐MOSFET 与IGBT 不同,不存在开启电压,所以从小电流到大电流的宽电流范围内都能够实现低导通损耗。而Si MOSFET 在150℃时导通电阻上升为室温条件下的2 倍以上,与Si MOSFET 不同,SiC MOSFET的上升率比较低,因此易于热设计,且高温下的导通电阻也很低。

4、驱动门极电压和导通电阻

SiC‐MOSFET 的漂移层阻抗比Si MOSFET 低,但是另一方面,按照现在的技术水平,SiC MOSFET的MOS 沟道部分的迁移率比较低,所以沟道部的阻抗比Si 器件要高。因此,越高的门极电压,可以得到越低的导通电阻(Vgs=20V 以上则逐渐饱和)。如果使用一般IGBT 和Si MOSFET 使用的驱动电压Vgs=10~15V 的话,不能发挥出SiC 本来的低导通电阻的性能,所以为了得到充分的低导通电阻,推荐使用Vgs=18V左右进行驱动。Vgs=13V 以下的话,有可能发生热失控,请注意不要使用

5、Vg-Id特性

SiC MOSFET 的阈值电压在数mA 的情况下定义的话,与Si‐MOSFET 相当,室温下大约3V(常闭)。但是,如果流通几个安培电流的话,需要的门极电压在室温下约为8V 以上,所以可以认为针对误触发的耐性与IGBT 相当。温度越高,阈值电压越低。

6、Turn-On特性

SiC‐MOSFET 的Turn‐on 速度与Si IGBT 和Si MOSFET 相当,大约几十ns。但是在感性负载开关的情况下,由通往上臂二极管的回流产生的恢复电流也流过下臂,由于各二极管性能的偏差,从而产生很大的损耗。Si FRD 和Si MOSFET 中的体二极管的通常恢复电流非常大,会产生很大的损耗,而且在高温下该损耗有进一步增大的趋势。与此相反,SiC二极管不受温度影响,可以快速恢复,SiC MOSFET 的体二极管虽然Vf 较高但是与碳化硅二极管相同,具有相当的快速恢复性能。通过这些快速恢复性能,可以减少Turn‐on 损耗(Eon)好几成。开关速度极大程度上决定于外部的门极电阻Rg。为了实现快速动作,推荐使用几Ω左右的低阻值门极电阻。另外还需要考虑到浪涌电压,选择合适的门极电阻。

7、Turn-Off特性

SiC MOSFET 的最大特点是原理上不会产生如IGBT中经常见到的尾电流。SiC 即使在1200V 以上的耐压值时也可以采用快速的MOSFET 结构,所以,与IGBT 相比,Turn‐off 损耗(Eoff)可以减少约90%,有利于电路的节能和散热设备的简化、小型化。而且,IGBT 的尾电流会随着温度的升高而增大,而SiC‐MOSFET 几乎不受温度的影响。另外,由于较大的开关损耗引起的发热会致使结点温度(Tj)超过额定值,所以IGBT 通常不能在20KHz 以上的高频区域内使用,但SiC MOSFET 由于Eoff 很小,所以可以进行50KHz 以上的高频开关动作。通过高频化,可以使滤波器等被动器件小型化。

8、内部门极电阻

芯片内部门极电阻与门极电极材料的薄层阻抗和芯片尺寸相关。如果是相同的设计,芯片内部门极电阻与芯片尺寸呈反比例,芯片尺寸越小,门极电阻越大。SiC MOSFET 的芯片尺寸比Si 器件小,虽然结电容更小,但是同时门极电阻也就更大。

9、门极驱动电路

SiC MOSFET 是一种易于驱动、驱动功率较少的常闭型、电压驱动型的开关器件。基本的驱动方法和IGBT 以及Si MOSFET一样。推荐的驱动门极电压,ON 侧时为+18V 左右,OFF 侧时为0V。在要求高抗干扰性和快速开关的情况下,也可以施加‐3~‐5V 左右的负电压。当驱动大电流器件和功率模块时,推荐采用缓冲电路。

10、二极管的 Vf 和逆向导通

与Si MOSFET 一样,SiC MOSFET体内也存在因PN结而形成的体二极管(寄生二极管)。但是由于SiC的带隙是Si的3倍,所以SiC MOSFET的PN二极管的开启电压大概是3V左右,比较大,而且正向压降(Vf)也比较高。以往,当Si MOSFET外置回流用的快速二极管时,由于体二极管和外置二极管的Vf大小相等,为了防止朝向恢复慢的体二极管侧回流,必须在MOSFET上串联低电压阻断二极管,这样的话,既增加了器件数量,也使导通损耗进一步恶化。然而,SiC MOSFET的体二极管的Vf 比回流用的快速二极管的Vf还要高出很多,所以当逆向并联外置二极管时,不需要串联低压阻断二极管。

体二极管的Vf比较高,这一问题可以通过如同整流一样向门极输入导通信号使其逆向导通来降低。逆变驱动时,回流侧的臂上多数是在死区时间结束之后输入门极导通信号(请确认使用中的CPU的动作),体二极管的通电只在死区时间期间发生,之后基本上是经由沟道逆向流过。因此,即使在只由MOSFET(无逆向并联的SBD)构成的桥式电路中,体二极管的Vf较高也没有问题。

11、二极管的恢复特性

SiC MOSFET的体二极管虽然是PN 二极管,但是少数载流子寿命较短,所以基本上没有出现少数载流子的积聚效果,与SBD 一样具有超快速恢复性能(几十ns)。因此Si MOSFET的体二极管与IGBT外置的FRD相比,其恢复损耗可以减少到IGBT外置的FRD的几分之一到几十分之一。体二极管的恢复时间与SBD相同,是恒定的,不受正向输入电流If的影响(dI/dt 恒定的情况下)。在逆变器应用中,即使只由MOSFET 构成桥式电路,也能够实现非常小的恢复损耗,同时还预期可以减少因恢复电流而产生的噪音,达到降噪。

从以上这些方面就能看出SiC MOSFET相对于Si IGBT和MOSFET的优势所在。

二、碳化硅mos的技术难点

综合各种报道,难题不在芯片的原理设计,特别是芯片结构设计解决好并不难。难在实现芯片结构的制作工艺。当然对于用户最直接的原因是,SiC MOSFET 的价格相对较高。

SiC 碳化硅MOSFET用于电机驱动的优势分析

在品慧电子的传统印象中,电机驱动系统往往采用IGBT作为开关器件,而SiC MOSFET作为高速器件往往与光伏和电动汽车充电等需要高频变换的应用相关联。但在特定的电机应用中,SiC碳化硅仍然具有不可比拟的优势,这些优势分别是:

1. 低电感电机

低电感电机有许多不同应用,包括大气隙电机、无槽电机和低泄露感应电机。它们也可被用在使用PCB定子而非绕组定子的新电机类型中。这些电机需要高开关频率(50-100kHz)来维持所需的纹波电流。然而,对于50kHz以上的调制频率使用绝缘栅双极晶体管(IGBT)无法满足这些需求,如果是380V系统,硅MOSFET耐压又不够,这就为宽禁带器件开创了新的机会。

2. 高速电机

由于拥有高基波频率,这些电机也需要高开关频率。它们适用于高功率密度电动汽车、高极数电机、拥有高扭矩密度的高速电机以及兆瓦级高速电机等应用。同样,IGBT能够达到的最高开关频率受到限制,而通过使用宽禁带开关器件可能能够突破这些限制。例如燃料电池中的空压机。空压机最高转速超过15万rpm,空压机电机控制器的输出频率超过2500Hz,功率器件需要很高的开关频率(超过50kHz),因此SiC-MOSFET是这类应用的首选器件。

3. 恶劣工况

在电机控制逆变器中使用宽禁带器件有两个引人关注的益处。第一,它们产生的热量比硅器件少,降低了散热需求。第二,它们能承受更高工作温度——SiC:600°C,GaN:300°C,而硅芯片能承受的最高工作温度仅为200°C。虽然SiC产品目前存在一些与封装有关的问题,导致它们所适用的工作温度不能超过200°C,但专注于解决这些问题的研究正在进行中。因此,宽禁带器件更适合可能面临恶劣工况的电机应用,比如混合动力电动汽车(HEV)中的集成电机驱动器、海底和井下应用、空间应用等

传统的电机驱动中,往往使用IGBT作为开关器件。那么,SiC MOSFET相对于Si IGBT有哪些优势,使得它更适合电机驱动应用?

首先,从开关特性角度看,功率器件开关损耗分为开通损耗和关断损耗。

关断损耗

IGBT是双极性器件,导通时电子和空穴共同参与导电,但关断时由于空穴,只能通过复合逐渐消失,从而产生拖尾电流,拖尾电流是造成IGBT关断损耗的大的主要原因。SiC MOSFET是单极性器件,只有电子参与导电,关断时没有拖尾电流使得SiC MOSFET关断损耗大大低于IGBT。

开通损耗

IGBT开通瞬间电流往往会有过冲,这是反并联二极管换流时产生的反向恢复电流。反向恢复电流叠加在IGBT开通电流上,增加了器件的开通损耗。IGBT的反并联二极管往往是Si PiN二极管,反向恢复电流比较明显。而SiC MOSFET的结构里天然集成了一个体二极管,无需额外并联二极管。SiC体二极管参与换流,它的反向恢复电流要远低于IGBT反并联的硅PiN二极管,因此,即使在同样的dv/dt条件下,SiC MOSFET的开通损耗也低于IGBT。另外,SiC MOSFET可以使得伺服驱动器与电机集成在一起,从而摒除线缆上dv/dt的限制,高dV/dt条件下,SiC的开关损耗会进一步降低,远低于IGBT。即使是开关过程较慢时,碳化硅的开关损耗也优于IGBT。

此外,SiC MOSFET的开关损耗基本不受温度影响,而IGBT的开关损耗随温度上升而明显增加。因此高温下SiC MOSFET的损耗更具优势。

再考虑dv/dt的限制,相同dv/dt条件下,高温下SiC MOSFET总开关损耗会有50%~60%的降低,如果不限制dv/dt,SiC开关总损耗最高降低90%。

从导通特性角度看:

SiC MOSFET导通时没有拐点,很小的VDS电压就能让SiC MOSFET导通,因此在小电流条件下,SiC MOSFET的导通电压远小于IGBT。大电流时IGBT导通损耗更低,这是由于随着器件压降上升,双极性器件IGBT开始导通,由于电导调制效应,电子注入激发更多的空穴,电流迅速上升,输出特性的斜率更陡。对应电机工况,在轻载条件下,SiC MOSFET具有更低的导通损耗。重载或加速条件下,SiC MOSFET导通损耗的优势会有所降低。

CoolSiC™ MOSFET在各种工况下导通损耗降低,

下面通过一个实例研究,实际验证SiC MOSFET在电机驱动中的优势。

假定以下工况,对比三款器件:

IGBT IKW40N120H3,

SiC MOSFET IMW120R060M1H和IMW120R030M1H。

测试条件

Vdc=600V, VN,out=400V, IN,out=5A–25A,

fN,sin-out=50Hz, fsw=4-16kHz, Tamb=25°C,

cos(φ)N=0.9, Rth,HA=0.63K/W, dv/dt=5V/ns

M=1,Vdc=600V, fsin=50Hz, RG@dv/dt=5V/ns, fsw=8kHz,线缆长度5m, Tamb=25°C

可以看出,基于以上工况,同样的温度条件下,30mohm的器件输出电流比40A IGBT提高了10A,哪怕换成小一档的60mohm SiC MOSFET,输出电流也能提升约5A。而相同电流条件下,SiC MOSFT的温度明显降低。

综上所述,SiC开关器件能为电机驱动系统带来的益处总结如下:

  • 更低损耗‒降低耗电量,让人们的生活更加环保、可持续。
  • 性能卓越‒实现更高功率密度,通过以更小的器件达到相同性能,来实现更经济的电机设计。
  • 结构紧凑‒实现更紧凑、更省空间的电机设计,减少材料消耗,降低散热需求。
  • 更高质量‒SiC逆变器拥有更长使用寿命,且不易出故障,使得制造商能够提供更长的保修期。
  • 最后,英飞凌CoolSiC™能保证单管3us,Easy模块2us的短路能力,进一步保证系统的安全性与可靠性。